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        潔凈工廠智能搬運設備
        液晶面板移載機LUL?
        卡匣提升/Tray盤垂直輸送機?

        用于液晶面板在高潔凈度無塵車間的

        跨樓層垂直輸送。


        1.最大升降速度:90m/min; 

        2.橋廂停止定位精度:±1~2mm;

        3.最大輸送速度:25m/min;

        4.水平輸送精度:±1~2mm; 

        5.潔凈環境等級:Class10~1000; 

        6.最大載荷:2000kg; 

        7.最大揚程:50m;

        液晶面板在高潔凈度無塵車間內部的水平物流輸送的主要設備


        1.卡匣歸正范圍:30mm;

        2.卡匣重復歸正精度:±1mm;
        3.卡匣水平度:±1mm;

        4.設備使用環境:

        Class10、Class100、Class1000、Class10000;

        5.載荷:1000KG;
        單雙層玻璃旋轉機(90度/180度)
        單雙層玻璃輸送機
        1.Roller參數:真圓度≤0.15mm,偏擺度≤0.3mm;
        2.輸送速度:30m/min;
        3.重復定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
        4.整體平行度:≤1mm;
        5.旋轉精度:θ誤差≤0.35°;
        1.Roller參數:真圓度≤0.15mm,偏擺度≤0.3mm;
        2.輸送速度:30m/min;
        3.重復定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
        4.整體平行度:≤1mm;
        Foup CV
        玻璃翻轉機
        1.翻轉精度:±1mm;
        2.輸送精度:±0.2mm;
        3.設備使用環境:Class100、Class1000;
        1.OHT可在此設備取放晶圓盒。
        2.可快速傳送晶圓盒,可在跨廠別中依照廠房LAYOUT需求布置。
        3.將直線CV與旋轉單元結合使用。
        4.設備潔凈度為iso class 100級別。
        5. SEMI標準兼容的界面系統。
        液晶面板用卡匣

        液晶面板主要儲存單元。


        ?1.卡匣裝載層高:27+0.5mm;

         2.最大載重:700kg; 3.水洗耐熱溫度:大于120℃; 4.水洗耐熱時間:≥20min; 5.材料韋伯硬度:≥12;
        6.潔凈環境等級:Class10-1000;???
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